熔融石英窗口片
JGS1 / JGS2 / JGS3 · Corning 7980 · OHARA SK-1300
熔融石英是光学应用中最常用的基底材料之一,具有宽透过波段(UV 至红外)、极低热膨胀系数(CTE 0.55×10⁻⁶/°C)、高化学稳定性等特点。九闳科提供多种牌号的熔融石英窗口片,支持定制尺寸和镀膜服务。
材料规格与加工精度
| 规格参数 | 标准精度 | 高精度 |
|---|---|---|
| 尺寸公差 | ± 0.1mm | +0.0 / −0.01mm |
| 厚度公差 | ± 0.1mm | ± 0.01mm |
| 平行度 | < 1'(弧分) | < 10"(弧秒) |
| 表面粗糙度 Ra | 0.6nm | 0.2nm |
| 表面质量(划痕-麻点) | 60-40 | 20-10 |
| 面型精度 | λ/4 | λ/10 |
| 加工直径 | Ø1mm~Ø600mm | Ø1mm~Ø600mm |
材料牌号与国际对应
| 国内牌号 | 国际对应 | 透过范围 | 等级说明 |
|---|---|---|---|
| JGS1 | Corning 7980 / Heraeus Suprasil | 170nm~2500nm | UV 级,高纯合成石英,UV 透过性优 |
| JGS2 | Corning 7940 / Heraeus Standard | 250nm~3500nm | 红外级,通用应用 |
| JGS3 | Heraeus Infrasil | 250nm~3500nm(远红外) | 低 OH 含量,减小 2.73μm 吸收 |
| Corning 7980 | Corning 7980(进口原料) | 170nm~2500nm | 进口高纯合成石英,品质稳定 |
| OHARA SK-1300 | OHARA SK-1300(进口原料) | 250nm~3500nm | 日本合成石英,质量可靠 |
镀膜服务
- V 型单波长 AR 增透膜 — 193、266、355、532、1064nm 或定制波长,单面反射率 R < 0.25%
- 宽带 AR 增透膜 — 多层膜覆盖指定波段(如 400~700nm、700~1100nm),平均 R < 1.0%
- HR 高反射膜 — 介质多层膜,R > 99.5%,需指定波长和入射角(0° 腔内或 45° 折转)
- 部分反射膜 — 定制分光比(如 10:90、50:50),用于分束或功率采样
- ITO 导电膜 — 面电阻 100~300 Ω/sq,兼容 UV-VIS 基底
- 裸片无膜 — 所有牌号均可提供未镀膜产品
典型应用
半导体制造设备窗口激光谐振腔窗口紫外光刻系统光谱分析仪医疗激光器